ダイシング・ダイボンドフィルム

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人ユニアス国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-075317
公開番号（公開出願番号）：特開2011-176331
出願日： 2011年03月30日
公開日（公表日）： 2011年09月08日
要約：

【課題】ダイシング時の半導体ウェハの保持力とピックアップ時の剥離性のバランス特性に優れるダイシング・ダイボンドフィルムを提供する。【解決手段】粘着剤層は、アクリル酸エステル、特定量のヒドロキシル基含有モノマー、及び、特定量の分子内にラジカル反応性炭素-炭素二重結合を有するイソシアネート化合物で構成されたアクリル系ポリマーと、特定量の分子内にラジカル反応性炭素-炭素二重結合を2個以上有する化合物とで構成されるアクリル系粘着剤により形成され、ダイボンドフィルムはアクリル樹脂を含み構成され、粘着剤層に積層されたものであり、アクリル酸エステルは、CH2=CHCOOR(式中、Rは炭素数が6〜10のアルキル基である。)で表されるアクリル酸エステルAを、アクリル酸エステル全量100mol%に対し50〜91mol%の割合で含んでいるダイシング・ダイボンドフィルム。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材上に粘着剤層を有するダイシングフィルムと、該粘着剤層上に設けられたダイボンドフィルムとを有するダイシング・ダイボンドフィルムであって、前記粘着剤層は、アクリル酸エステルと、アクリル酸エステル100mol%に対する割合が10〜40mol%の範囲内のヒドロキシル基含有モノマーと、ヒドロキシル基含有モノマー100mol%に対する割合が70〜90mol%の範囲内の分子内にラジカル反応性炭素-炭素二重結合を有するイソシアネート化合物とで構成されたアクリル系ポリマーと、前記アクリル系ポリマー100重量部に対する割合が10〜60重量部の範囲内の分子内にラジカル反応性炭素-炭素二重結合を2個以上有する化合物とで構成されるアクリル系粘着剤により形成され、前記ダイボンドフィルムはアクリル樹脂を含み構成され、前記粘着剤層に積層されたものであり、前記アクリル酸エステルは、CH2=CHCOOR(式中、Rは炭素数が6〜10のアルキル基である。)で表されるアクリル酸エステルAを、アクリル酸エステル全量100mol%に対し50〜91mol%の割合で含んでいることを特徴とするダイシング・ダイボンドフィルム。

IPC (4件)：

H01L 21/301 , C09J 7/02 , C09J 133/08 , C09J 175/14

FI (4件)：

H01L21/78 M , C09J7/02 Z , C09J133/08 , C09J175/14

Fターム (31件)：

4J004AA10 , 4J004AA14 , 4J004AB07 , 4J004CA02 , 4J004CA03 , 4J004CA04 , 4J004CA05 , 4J004CA06 , 4J004CA08 , 4J004CB03 , 4J004CD02 , 4J004CD08 , 4J004CD09 , 4J004CD10 , 4J004FA05 , 4J040DF041 , 4J040EC002 , 4J040EF181 , 4J040EF282 , 4J040EH002 , 4J040GA05 , 4J040KA13 , 4J040LA01 , 4J040LA06 , 4J040MA02 , 4J040MA09 , 4J040MA10 , 4J040MA11 , 4J040NA20 , 4J040PA02 , 4J040PA32

引用特許：

審査官引用 (2件)

ダイシング・ダイボンドフィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-318592 出願人：日東電工株式会社
ウエハ加工用テープ
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-182373 出願人：古河電気工業株式会社

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