位置検出装置及び方法、並びに露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上義雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-027701
公開番号（公開出願番号）：特開2000-228345
特許番号：特許第4329146号
出願日： 1999年02月04日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料上に設けた位置検出用マークのマーク像を結像光学系を介して検出する像検出手段と、前記像検出手段からの検出出力に基づいて前記位置検出用マークの位置を検出する位置検出手段と、前記像検出手段で検出される前記マーク像を所定範囲内でデフォーカスさせることができるデフォーカス手段と、前記マーク像をデフォーカスさせた場合の当該マーク像のエッジの傾きに基づいて、前記マーク像をデフォーカスさせて位置検出を行う際のデフォーカス量を決定する決定手段とを備え、前記像検出手段は、前記決定手段により決定された前記デフォーカス量のもとで前記マーク像を検出することを特徴とする位置検出装置。

IPC (3件)：