誘導型トランスデューサ及び電子ノギス

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田研二 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-068703
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255108
特許番号：特許第3504904号
出願日： 2000年03月13日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】スケールとグリッド間の相対変位に応じた電気信号を出力する誘導型トランスデューサであって、前記グリッドは、駆動信号に基づいて磁束を発生する磁束発生手段と、前記相対位置に応じて変化する磁束を検出する磁束検出手段と、前記磁束検出手段からの検出信号を処理する信号処理手段と、を有し、前記磁束発生手段と磁束検出手段と信号処理手段は、コア層に対して複数の層をビルドアップして得られる多層構造の異なる層に、前記スケールから見て前記磁束発生手段、磁束検出手段、信号処理手段の順にそれぞれ形成され、かつ、前記磁束検出手段と前記信号処理手段との間に磁気シールド手段を有することを特徴とする誘導型トランスデューサ。

IPC (3件)：