特許
J-GLOBAL ID：201103006258941308
基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-286310
公開番号（公開出願番号）：特開2003-100576
特許番号：特許第4073186号
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板に対して処理を施す複数個のリソースを備えた基板処理装置により、各リソースを使用しながら処理する際に各々のリソースを使用するタイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
実際に基板に対する処理を開始する前に各リソースの使用タイミングを予め作成するとともに、
各リソースで使用する消費材について、最大消費量以内で使用可能なリソースとして容量リソースを定義し、
各リソースを使用して基板に対する処理を行なう場合には、複数のリソースの使用により前記容量リソースの最大消費量を超えたとき、超える前に配置されたリソースを残した状態で、待機時間を置いて原因をつくったリソースを後にずらして、前記各リソースを使用することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
IPC (3件)：
H01L 21/02 ( 200 6.01)
, B08B 3/04 ( 200 6.01)
, G05B 19/418 ( 200 6.01)
H01L 21/02 Z
, B08B 3/04 B
, G05B 19/418 Z
