特許
J-GLOBAL ID：201103006763403213
レーザ照射装置およびレーザ照射方法および半導体装置の作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338846
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156018
特許番号：特許第4514861号
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 互いに波長の異なる複数のレーザビームを出力するレーザ発振器及び非線形光学素子と、
前記互いに波長の異なる複数のレーザビームを波長毎に分離するビームスプリッタと、
波長毎に分離された前記互いに波長の異なる複数のレーザビームのそれぞれを分割する光学系と、
分割された前記互いに波長の異なる複数のレーザビームのそれぞれを1つの領域に合成する光学系と、
被照射物を配置するステージと、を有することを特徴とするレーザ照射装置。
IPC (4件)：
H01L 21/268 ( 200 6.01)
, H01L 21/20 ( 200 6.01)
, H01L 21/336 ( 200 6.01)
, H01L 29/786 ( 200 6.01)
H01L 21/268 J
, H01L 21/20
, H01L 29/78 627 G
