プローブカード

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大西孝治 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224920
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050981
特許番号：特許第3392079号
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ウエハ上に形成された半導体集積集積回路の電気的緒特性を測定する際に用いられるプローブカードにおいて、配線パターンが形成された基板と、先端部分が湾曲した金属針であって前記基板のウエハ側の面に下向きに取り付けられるとともに前記配線パターンと電気接続される鍔付きプローブと、前記基板のウエハ側に隙間を開けて配設されており且つ前記鍔付きプローブの基端部分が通される貫通穴が形成された支持基板とを具備しており、前記鍔付きプローブは前記支持基板のウエハ側の面に当接する鍔部が形成されていることを特徴とするプローブカード。

IPC (3件)：