特許
J-GLOBAL ID:201103007007571826
金属-セラミックス接合基板およびその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大川 浩一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-055526
公開番号(公開出願番号):特開2011-189354
出願日: 2010年03月12日
公開日(公表日): 2011年09月29日
要約:
【課題】溶湯接合によりベース一体型の金属-セラミックス接合基板を製造する際に、アルミニウムまたはアルミニウム合金より熱伝導率の大きい金属からなる金属板を取り囲むように、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベース板を形成しても、その金属とAlとの金属間化合物または固溶体の形成を防止するとともに、その金属とAlの拡散を防止することができる、金属-セラミックス接合基板を製造する手段を提供する。【解決手段】金属部材の表面にセラミックスを溶射して金属部材の表面が溶射皮膜で被覆された溶射皮膜被覆部材16を得た後、この溶射皮膜被覆部材とセラミックス基板12とを互いに離間して鋳型20内に配置させ、この鋳型内の溶射皮膜被覆部材の全面とセラミックス基板の一方の面に接触するようにアルミニウムまたはアルミニウム合金の溶湯を注湯した後に溶湯を冷却して固化させる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
金属部材の表面にセラミックスを溶射して金属部材の表面が溶射皮膜で被覆された溶射皮膜被覆部材を得た後、この溶射皮膜被覆部材とセラミックス基板とを互いに離間して鋳型内に配置させ、この鋳型内の溶射皮膜被覆部材の全面とセラミックス基板の一方の面に接触するようにアルミニウムまたはアルミニウム合金の溶湯を注湯した後に溶湯を冷却して固化させることにより、溶射皮膜被覆部材を取り囲み且つセラミックス基板の一方の面に直接接合したアルミニウムまたはアルミニウム合金からなるアルミニウム部材を形成することを特徴とする、金属-セラミックス接合基板の製造方法。
IPC (6件):
B22D 19/00
, H01L 23/36
, H01L 23/12
, B22D 19/04
, C23C 4/10
, C23C 4/12
FI (6件):
B22D19/00 H
, H01L23/36 C
, H01L23/12 J
, B22D19/04
, C23C4/10
, C23C4/12
Fターム (16件):
4K031AA06
, 4K031AB02
, 4K031CB43
, 4K031CB45
, 4K031CB46
, 4K031CB47
, 4K031DA04
, 5F136BB04
, 5F136BB18
, 5F136FA02
, 5F136FA03
, 5F136FA14
, 5F136FA16
, 5F136FA17
, 5F136FA18
, 5F136GA15
引用特許:
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