ウエハ熱処理装置及びそれを用いたウエハの熱処理方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下茂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-126652
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323486
特許番号：特許第4525871号
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】熱処理すべきウエハを収容載置し、珪素に対し不活性な内部雰囲気を有するウエハ処理室と、前記ウエハ処理室内のウエハを加熱するための熱処理用加熱装置と、前記加熱装置の温度を制御する温度制御機構とを少なくとも備えたウエハ熱処理装置において、前記ウエハ処理室の少なくとも上面壁板及び下面壁板は、赤外線透過材質で形成され、前記熱処理用加熱装置は、熱源として抵抗発熱体が用いられると共に、前記抵抗発熱体が、ウエハ処理室の上壁面と底壁面を外側から挟むように、ウエハ処理室と分離、配置された、上部ヒータ室及び下部ヒータ室の2個のヒータ室内に夫々配設され、夫々の前記ヒータ室内に配設された前記抵抗発熱体は、ウエハ面にほぼ平行に、ウエハの面域内に配置された第一の抵抗発熱体と、ウエハ面にほぼ平行に、ウエハ面外域に配置された第二の抵抗発熱体とを備え、前記第一の抵抗発熱体の抵抗値は、ウエハ中心部に対応する位置から外周部に対応する位置にいくにつれて、徐々に高くなるように設定されると共に、前記第二の抵抗発熱体の抵抗値は、第一の抵抗発熱体の抵抗値よりも大きく設定されることにより、載置ウエハの面内域においては放射熱密度が均一となるように発熱体の抵抗値分布が設定されていると共に、面外域においてはウエハの外周部からの熱放散が相殺されるよう面内域より熱密度が高く設定され、かつ、前記ヒータ室を形成する壁板のうち、上部ヒータ室の下面壁板及び下部ヒータ室の上面壁板は赤外線透過材質で形成され、更に前記ヒータ室には、前記温度センサーの赤外線が通過する孔が形成され、前記孔を形成する側壁によってヒータ室は閉じられると共に、前記孔を形成する側壁の外面には、カーボン筒が設けられ、更に、前記ヒータ室内に抵抗発熱体を形成する材質に対して、不活性なガスを導入、あるいは流通させる機構が設けられ、前記温度制御機構は、前記ウエハ処理室の上壁面側に設けられたヒータ室の上面壁板の外側に一の赤外線温度センサーを配置すると共に、前記ウエハ処理室の底壁面側に設けられたヒータ室の底面壁板の外側に、他の赤外線温度センサーを配置し、前記赤外線温度センサーによって、前記カーボン筒を通過する赤外線を測定することによってウエハの表裏面の温度を検出し、前記ウエハの表裏面の温度検出値に応じて、前記抵抗発熱体を制御することを特徴とするウエハ熱処理装置。

IPC (1件)：

H01L 21/324 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/324 K , H01L 21/324 G , H01L 21/324 T

引用特許：

審査官引用 (11件)

高速熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-017413 出願人：東横化学株式会社
特開昭60-123025
特開平3-080530

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