特許
J-GLOBAL ID：201103008073641734

硬化型組成物

発明者：
五十嵐 一郎

五十嵐 一郎 について

, 
水谷 邦彦

水谷 邦彦 について


出願人/特許権者：
東亞合成株式会社

東亞合成株式会社 について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-242926
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066771
特許番号：特許第3509653号
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下記化合物(a)および化合物(b)を主構成成分とするエッチングレジスト用硬化型組成物。(a)1分子中に1個のカルボキシル基と1個の(メタ)アクリロイル基を有する化合物(b)ビスフェノールAの1分子あたりアルキレンオキサイド単位が2〜3個付加してなる2価アルコールに(メタ)アクリル酸がエステル化してなるジ(メタ)アクリレート
IPC (6件)：
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/48 ,  C08F 220/20 ,  C08F 220/26 ,  G03F 7/36 ,  H01J 9/14
FI (6件)：
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/48 ,  C08F 220/20 ,  C08F 220/26 ,  G03F 7/36 ,  H01J 9/14 G
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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