特許
J-GLOBAL ID：201103008254397428

段差測定装置並びにこの段差測定装置を用いたエッチングモニタ装置及びエッチング方法

発明者：
楠瀬 治彦

楠瀬 治彦 について


出願人/特許権者：
レーザーテック株式会社

レーザーテック株式会社 について


代理人 (3件)： 杉村 興作 ,  藤谷 史朗 ,  藤原 英治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038635
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241121
特許番号：特許第3881125号
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】位相シフターを構成する凹部及び遮光パターンが形成されている第1の面と、第1の面と対向する裏面である第2の面とを有する光学的に透明な基板を具える位相シフトマスクの、前記凹部と遮光パターンが形成されている面との間の段差の深さを位相シフト法により測定する段差測定装置であって、 光ビームを発生する光源装置と、 前記光源装置から発生した光ビームから、互いに可干渉性を有する2本の光ビームを発生する光学系と、 これら2本の光ビームを前記透明基板の裏面である第2の面に向けて投射する対物レンズと、 前記透明基板と遮光パターンとの界面で反射し前記第2の面から出射する反射ビーム及び前記凹部の透明基板と空気との界面で反射し前記第2の面から出射する反射ビームとの間に相対的な位相シフトを与えると共にこれら2本の反射ビームを合成して干渉ビームを発生する干渉光学系と、 この干渉光学系から出射した干渉ビームを受光し、干渉ビームの振幅の変化を出力する光検出器と、 前記透明基板の第1の状態における前記位相シフトに対応した干渉ビームの振幅変化の情報を含む第1の位相情報と、第1の状態とは異なる第2の状態における前記位相シフトに対応した干渉ビームの振幅変化の情報を含む第2の位相情報との間の位相変位量を求め、得られた位相変位量から測定すべき段差の深さを決定する信号処理装置とを具えることを特徴とする段差測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/02 ( 200 6.01) ,  G01B 11/22 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01B 11/02 G ,  G01B 11/22 G
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM