粒子線装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華明裕
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-258546
公開番号（公開出願番号）：特開2000-173520
特許番号：特許第4287549号
出願日： 1999年09月13日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 1次粒子線(2) を発生するソース(1)と、上記1次粒子線(2) を試験片(4) 上に集光させるための集光装置(3) と、上記ソース(1) と上記集光装置(3) の間に配置され上記試験片(4) より放出された後方散乱電子及び/又は2次電子(6) を検出するための検出装置(5) と、上記1次粒子線(2) を第1のエネルギからそれより高い第2のエネルギに加速するための加速装置(7) と、上記1次粒子線(2) を最終ビームエネルギに減速するための減速装置(8) と、を有する粒子線装置において、上記検出装置(5) の直前に設けられ上記1次粒子線(2)を減速するための第1の付加装置(9) と、上記検出装置(5) の直後に設けられ上記1次粒子線(2) を加速するための第2の付加装置(10)と、を有することを特徴とする粒子線装置。

IPC (4件)：

H01J 37/04 ( 200 6.01) , H01J 37/145 ( 200 6.01) , H01J 37/244 ( 200 6.01) , H01J 37/28 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01J 37/04 Z , H01J 37/145 , H01J 37/244 , H01J 37/28 B

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭61-288358
粒子線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-163940 出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
電界磁気レンズ装置及び荷電粒子線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-029093 出願人：エイシーティーアドバンストサーキットテスティングゲゼルシャフトフュアテストジュステームエントヴィックリングミットベシュレンクテルハフツング

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審査官引用 (4件)

特開昭61-288358
粒子線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-163940 出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
電界磁気レンズ装置及び荷電粒子線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-029093 出願人：エイシーティーアドバンストサーキットテスティングゲゼルシャフトフュアテストジュステームエントヴィックリングミットベシュレンクテルハフツング

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