特許
J-GLOBAL ID：201103008439600700
X線分析装置及びX線分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
久原 健太郎
, 内野 則彰
, 木村 信行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-198718
公開番号（公開出願番号）：特開2011-047898
出願日： 2009年08月28日
公開日（公表日）： 2011年03月10日
要約：
【課題】 作業効率よく、安全に試料測定を行うことができるX線分析装置及びX線分析方法を提供することを目的とする。【解決手段】 試料上の照射ポイントに放射線を照射する放射線源と、試料から放出される特性X線及び散乱X線を検出し、特性X線及び散乱X線のエネルギー情報を含む信号を出力するX線検出器と、信号を分析する分析器と、試料を載置する試料ステージと、試料ステージ上の試料と放射線源及びX線検出器とを相対的に移動可能な移動機構と、試料における照射ポイントの高さを測定可能な高さ測定機構と、測定した試料における照射ポイントの高さに基づいて移動機構を制御して、試料と放射線源及びX線検出器との距離を調整する制御部とを備えていることを特徴とするX線分析装置を用いる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料上の照射ポイントに放射線を照射する放射線源と、
前記試料から放出される特性X線及び散乱X線を検出し、該特性X線及び散乱X線のエネルギー情報を含む信号を出力するX線検出器と、
前記信号を分析する分析器と、
前記試料を載置する試料ステージと、
該試料ステージ上の前記試料と前記放射線源及び前記X線検出器とを相対的に移動可能な移動機構と、
前記試料における照射ポイントの高さを測定可能な高さ測定機構と、
測定した前記試料における照射ポイントの高さに基づいて前記移動機構を制御して、前記試料と前記放射線源及び前記X線検出器との距離を調整する制御部と、
を備えていることを特徴とするX線分析装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (19件)：
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001BA05
, 2G001BA14
, 2G001CA01
, 2G001DA05
, 2G001DA09
, 2G001DA10
, 2G001EA03
, 2G001GA06
, 2G001GA08
, 2G001HA05
, 2G001HA09
, 2G001JA11
, 2G001KA01
, 2G001PA07
, 2G001PA11
, 2G001PA14
, 2G001PA30
