スパッタリングターゲット/バッキングプレート組立体の矯正方法及び同矯正装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小越勇 , 木下洋平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-318245
公開番号（公開出願番号）：特開2001-131738
特許番号：特許第3568845号
出願日： 1999年11月09日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】スパッタリングターゲットとバッキングプレートとを接合した組立体を真空吸引して矯正するに際し、スパッタリングターゲット/バッキングプレート組立体に可撓性シートを被せて真空吸引することを特徴とするスパッタリングターゲット/バッキングプレート組立体の矯正方法。

IPC (2件)：