特許
J-GLOBAL ID：201103009538171906
微細ボール供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-212522
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044624
特許番号：特許第3346345号
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 微細ボールを収容するとともに、前記微細ボールへの浮遊量を与える圧縮ガスを供給される収納槽と、前記収納槽の上方に配置され、浮遊した前記微細ボールを吸着する吸着ノズルと、所定位置に固定され、前記収納槽内の前記微細ボールの高さを検出するセンサと、前記収納槽へ供給される前記圧縮ガスの流量を制御するための流量制御弁装置と、前記センサの出力に基いて前記吸着ノズルの高さおよび前記流量制御弁装置を制御するコントローラとを有することを特徴とする微細ボール供給装置。
IPC (3件)：
H05K 3/34 505
, H01L 21/60
, H01L 23/12
H05K 3/34 505 A
, H01L 21/92 604 H
, H01L 23/12 L
