特許
J-GLOBAL ID:201103009806081796

水蒸気発生装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡邊 隆文 (外1名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-384744
公開番号(公開出願番号):特開2003-188164
特許番号:特許第3529763号
出願日: 2001年12月18日
公開日(公表日): 2003年07月04日
請求項(抜粋):
【請求項1】水素の燃焼によって水蒸気を発生させる水蒸気発生装置であって、酸素が供給される燃焼室を内部に有する装置本体と、前記燃焼室内に水素を噴出するための水素噴出ノズルと、水素の燃焼により生じた炎の発する光を検出する光検出面を有する炎検出センサと、を備え、前記光検出面が指向する方向線と前記水素噴出ノズルからの水素噴出方向線との交点の前記水素噴出ノズルからの位置を前記水素噴出方向線上で変更できるように、前記炎検出センサと前記水素噴出ノズルとが相対移動自在に構成されていることを特徴とする水蒸気発生装置。
IPC (2件):
H01L 21/31 ,  C01B 5/00
FI (2件):
H01L 21/31 F ,  C01B 5/00 A
引用特許:
出願人引用 (5件)
  • 半導体製造装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-281987   出願人:国際電気株式会社
  • 外部燃焼装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-016445   出願人:東京エレクトロン株式会社
  • 半導体製造装置の外部燃焼装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-232419   出願人:国際電気株式会社
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