特許

J-GLOBAL ID：201103010112240496

露光装置およびパラメータ変更方法

発明者： 小川 修
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 齋藤 和則 ,  伊東 哲也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-190421
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023875
特許番号：特許第4187229号
出願日： 1999年07月05日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数のパラメータに基づいてプログラムにより制御される露光装置において、 前記プログラムのバージョンアップの処理を実施する、CPUおよびディスプレイを含むコンソールを有し、 前記コンソールは、前記プログラムのバージョンアップを行い、前記バージョンアップにより前記複数のパラメータのうち設定可能な値が変わったパラメータを抽出して、そのパラメータ名、パラメータ値および新入力範囲をファイルに記録し、抽出された前記パラメータが存在すれば、そのパラメータを編集するためのエディタを起動して前記ファイルに記録された内容を前記ディスプレイに表示し、入力された値にしたがって前記パラメータ値を変更することを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  G06F 9/06 ( 200 6.01) ,  G06F 12/00 ( 200 6.01)

FI (5件)：

H01L 21/30 502 G ,  G03F 7/20 521 ,  G06F 9/06 410 P ,  G06F 12/00 510 B ,  G06F 12/00 517

引用特許：

審査官引用 (3件)

• デバイス製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-294671   出願人：キヤノン株式会社
• リソグラフィ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-161172   出願人：株式会社ニコン
• 特開平3-034017