特許

J-GLOBAL ID：201103010711787312

ペリクル収納容器及びその異物検査方法

発明者： 田村 篤 ,  栗山 芳真
出願人/特許権者： 旭化成イーマテリアルズ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人中川国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-273588
公開番号（公開出願番号）：特開2001-100394
特許番号：特許第4458310号
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 トレイと蓋とにより枠体にペリクル膜が接着されたペリクルを収納するペリクル収納容器において、 前記蓋は半透明の有色で且つその明度がマンセル値8以下とし、暗室においてハロゲンランプ照明を該蓋に照射した時、目視によりその明度が前記マンセル値8以下の半透明で有色の背景から該蓋に付着した異物が際立って白く光って見えるよう構成したことを特徴とするペリクル収納容器。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ( 200 6.01) ,  B65D 85/86 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G03F 1/14 M ,  G03F 1/14 J ,  B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ペリクルの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-194498   出願人：東ソー株式会社
• ペリクル枠
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-173687   出願人：東ソー株式会社