特許
J-GLOBAL ID：201103011952553963
圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタおよび圧電体素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲葉 良幸
, 田中 克郎
, 大賀 眞司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-041720
公開番号（公開出願番号）：特開2000-244031
特許番号：特許第3682839号
出願日： 1999年02月19日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電界を加えることにより変形可能に構成されている圧電体素子において、 圧電体層を形成する設置面になっている、電鋳で形成された基板が、パラジウムを含む材料で形成されていることにより、水熱合成時に前記基板が保護されることを特徴とする圧電体素子。
IPC (6件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/187
, H01L 41/22
H01L 41/08 C
, H01L 41/18 101 D
, H01L 41/22 Z
, B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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