特許
J-GLOBAL ID：201103012361969709
光変調装置及びその光変調装置の製造方法並びにその光変調装置を具備する画像形成装置及びその光変調装置を具備する画像投影表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-102478
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296521
特許番号：特許第4684448号
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 入射光の反射方向を変えて光変調を行う光変調装置において、
入射光を正反射する反射手段と、
前記反射手段を側面に組み合わせ構成する薄膜で形成され両端が固定されて静電力で変形する薄膜両端固定梁と、
前記薄膜両端固定梁の他方側面に対向して駆動電圧を印加する基板電極と、
前記基板電極と前記薄膜両端固定梁とが対応して形成される空隙と、
前記空隙の底部に前記基板電極を形成した基板と、
前記基板が保持して固定する前記薄膜両端固定梁の固定部を分割した分割固定部とからなり、
前記分割固定部は、前記基板と前記薄膜両端固定梁との固定箇所と、前記空隙とをまたがることを特徴とする光変調装置。
IPC (3件)：
G02B 26/08 ( 200 6.01)
, G03B 21/00 ( 200 6.01)
, G03B 21/14 ( 200 6.01)
G02B 26/08 J
, G03B 21/00 D
, G03B 21/14 Z
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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