カップ式めっき装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：特許業務法人田中・岡崎アンドアソシエイツ , 田中大輔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-294461
公開番号（公開出願番号）：特開2001-115297
特許番号：特許第4371494号
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】めっき槽開口部へ配置されるリング状のカソード電極にウェーハの周縁部を接触させ、ウェーハとめっき槽内部に配置されたアノード電極とを分極し、ウェーハにめっき電流を供給することでめっき処理を施すようにしたカップ式めっき装置において、リング状のカソード電極は複数に分割された分割カソード電極から形成されるとともに各分割カソード電極とアノード電極とによりカレントミラー回路を形成し、各分割カソードからウェーハに流れるめっき電流を均一に供給するようにしたことを特徴とするカップ式めっき装置。

IPC (3件)：