基板の組立装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋本正実
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-125778
公開番号（公開出願番号）：特開2001-356353
特許番号：特許第3411023号
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空チャンバ内の上方に位置する加圧板の下面に貼り合わせる一方の基板を保持し、貼り合わせる他方の基板を真空チャンバ内の下方に位置するテーブル上に保持して両基板を対向させ、いずれかの基板に設けた接着剤により真空中で両基板の間隔を狭めて基板同士を貼り合わせる基板の組立装置において、テーブルを真空チャンバの内外間にて水平に移動させる移動機構を具備すると共に、真空チャンバの外に位置したテーブル上に保持された他方の基板に接着剤を閉鎖したパターンに描画する手段と、この他方の基板上の接着剤の閉鎖したパターン内に液晶を滴下する手段と、を備え、前記加圧板に、一方の基板を吸引吸着力で保持させる手段と、静電吸着力で保持させる手段と、を設け、真空チャンバ内の減圧を進める過程で吸引吸着力が働かなくなり加圧板から落下する一方の基板を、加圧板から僅かに離れた程度の位置に受け止める受止め手段と、該受止め手段を加圧板側に移動させる手段と、を備え、前記受止め手段に一方の基板がある時に、静電吸着力を作用させて加圧板に一方の基板を保持させる手段と、を設けたことを特徴とする基板の組立装置。

IPC (3件)：

G02F 1/1339 505 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

FI (3件)：

G02F 1/1339 505 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

引用特許：

出願人引用 (4件)

液晶表示素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-081576 出願人：松下電器産業株式会社
液晶表示素子の製造方法および基板貼り合わせ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-237663 出願人：松下電器産業株式会社
基板ホルダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-272151 出願人：株式会社ニコン

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