感放射線性樹脂組成物及びそれに用いられる重合体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：渡邉一平 , 木川幸治 , 菅野重慶 , 佐藤博幸 , 小池成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-167220
公開番号（公開出願番号）：特開2011-022348
出願日： 2009年07月15日
公開日（公表日）： 2011年02月03日
要約：

【課題】90nm以下の微細パターン形成において、解像性能に優れるだけでなく、DOFとMEEFのバランスに優れ、液浸露光プロセスにも好適に利用されうる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】下記一般式(1)で表される繰り返し単位(1)(R1は水素原子等を示し、Zは放射線照射により酸を発生する機能を有する一価の基を示す。)を必須の構成要素として含有する重合体(A)と、溶剤(B)と、を含む感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表される繰り返し単位(1)、並びに下記一般式(2)で表される繰り返し単位(2)、下記一般式(3)で表される繰り返し単位(3)、及び下記一般式(4)で表される繰り返し単位(4)からなる群より選択される少なくとも一種の繰り返し単位を含有する重合体(A)と、溶剤(B)と、を含む感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 , G03F 7/039 , H01L 21/027 , C08F 220/12

FI (5件)：

G03F7/004 503A , G03F7/039 601 , G03F7/004 501 , H01L21/30 502R , C08F220/12

Fターム (56件)：

2H125AF15P , 2H125AF17P , 2H125AF34P , 2H125AF36P , 2H125AF38P , 2H125AF70P , 2H125AH12 , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AJ14X , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AL03 , 2H125AL11 , 2H125AN39P , 2H125AN42P , 2H125AN54P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 4J100AL03S , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100AL08T , 4J100BA02R , 4J100BA02T , 4J100BA05R , 4J100BA11Q , 4J100BA11R , 4J100BA51R , 4J100BA51T , 4J100BA56R , 4J100BA56T , 4J100BB10T , 4J100BB12T , 4J100BB18R , 4J100BC03P , 4J100BC08T , 4J100BC09S , 4J100BC43R , 4J100BC43T , 4J100BC53Q , 4J100BC53R , 4J100BC60R , 4J100CA03 , 4J100CA05 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100GC07 , 4J100GC35 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (2件)

感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-141965 出願人：富士写真フイルム株式会社
パターン形成方法並びにそれに用いられる感放射線性樹脂組成物及び感放射線性酸発生基含有樹脂
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-157873 出願人：JSR株式会社

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