イオン捕集装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-124789
公開番号（公開出願番号）：特開2011-210734
出願日： 2011年06月03日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：

【課題】デソープションイオン化方法において、試料台表面近傍のイオンを最大限に捕集する機構を提供する。【解決手段】生じたイオンの広がり以上の幅および高さをもつイオン取り込み口を設け、これを試料台に接するように位置させる。または、試料台に段差をつけて試料の積載された面よりも低い面を設け、生じたイオンの広がり以上の幅および高さをもつイオン取り込み口の開口部底面を、試料の積載された面よりも低く設置する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料を設置する試料台と、前記試料台に設置された試料に対し、試料をイオン化させるための粒子をガスと共に照射するイオン化手段と、イオン化された試料を取り込むイオン取り込み手段とを備え、前記イオン取り込み手段のイオン取り込み部は、前記試料台に設置された試料を覆うように配置されることを特徴とするイオン捕集装置。

IPC (3件)：

H01J 49/10 , H01J 49/06 , G01N 27/62

FI (4件)：

H01J49/10 , H01J49/06 , G01N27/62 G , G01N27/62 F

Fターム (15件)：

2G041CA01 , 2G041DA05 , 2G041DA06 , 2G041DA09 , 2G041DA16 , 2G041DA18 , 2G041DA20 , 2G041EA01 , 2G041GA01 , 2G041GA16 , 2G041GA23 , 2G041JA06 , 5C038FF13 , 5C038GG08 , 5C038GG13

引用特許：

審査官引用 (4件)

大気圧レーザイオン化質量分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-135256 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
特開平3-001435
特開昭62-035255

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