特許
J-GLOBAL ID：201103013815702733
フォーカス検出装置及びレーザ検査加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-013805
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214519
特許番号：特許第3494148号
出願日： 2001年01月22日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光発生手段と、前記光発生手段から出射した光を対象物に集光させるレンズと、前記光発生手段と前記レンズとの間に設けられ前記光発生手段から出射した光の光路から前記対象物で反射した光を分離する光分離手段と、前記光分離手段で分離された光を第1の反射光及び第2の反射光に配分する光配分手段と、中心軸に沿って設けられたコアとこのコアの周囲に設けられたクラッドからなり前記第1の反射光が入射されこれを導波する第1の光ファイバと、中心軸に沿って設けられたコアとこのコアの周囲に設けられたクラッドからなり前記第2の反射光が入射されこれを導波する第2の光ファイバと、前記第1の光ファイバにより導波された光を検出する第1の光検出手段と、前記第2の光ファイバにより導波された光を検出する第2の光検出手段と、を有し、前記第1及び第2の光ファイバに結合された導波モード数を夫々Nα及びNβ、前記第1及び第2の反射光の空気中における波長をλ、前記第1及び第2の光ファイバのコアの半径を夫々aα及びaβとするとき、前記光分離手段から前記第1の光ファイバにおける前記第1の反射光が入射する端面までの光路が前記光発生手段から前記光分離手段までの光路よりも4aα2/λ(Nα+1)だけ短く、前記光分離手段から前記第2の光ファイバにおける前記第2の反射光が入射する端面までの光路が前記光発生手段から前記光分離手段までの光路よりも4aβ2/λ(Nβ+1)だけ長く、前記第1の光検出手段により光を検出して得られる信号をC1、前記第2の光検出手段により光を検出して得られる信号をC2とするとき、焦点誤差信号C1-C2により前記対象物が前記レンズの集光点に位置しているかどうかを検出することを特徴とするフォーカス検出装置。
IPC (3件)：
G02B 7/28
, G11B 7/09
, G11B 7/26 531
G11B 7/09 B
, G11B 7/26 531
, G02B 7/11 N
, G02B 7/11 M
, G02B 7/11 H
, G02B 7/11 L
