感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-148330
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338664
特許番号：特許第3455697号
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (A)アルカリ水溶液可溶性重合体、(B)o-キノンジアジド化合物及び(C)酢酸を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：