特許
J-GLOBAL ID：201103014869291190

パターンの位置合わせ方法

発明者：
服部 新一

服部 新一 について

, 
井田 徹

井田 徹 について

, 
松野 修三

松野 修三 について


出願人/特許権者：
日本アビオニクス株式会社

日本アビオニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248543
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074414
特許番号：特許第3694198号
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基準となるマスタパターンの画像とカメラで撮像した被測定パターンの画像とを比較することにより被測定パターンを検査するパターン検査方法において、マスタパターンと被測定パターンの位置合わせを行う位置合わせ方法であって、被測定パターンとマスタパターンの全領域について互いの第1の位置決めマークの位置を合わせることによりマスタパターンと被測定パターンの全体の位置合わせを行った後に、マスタパターン中に複数の分割領域を設定し、パターンと直交する少なくとも4本の仮想のラインを第2の位置決めマークとして設定することを分割領域毎に行い、マスタパターンの分割領域に対応する被測定パターンの分割領域を抽出して、前記第2の位置決めマークに対応する位置を中心とする所定の範囲についてマスタパターンとの相関値を算出し、最も相関値が高いピーク位置を被測定パターンの第2の位置決めマークと見なし、被測定パターンとマスタパターンの互いの第2の位置決めマークの位置を合わせることにより、マスタパターンと被測定パターンの位置合わせを分割領域毎に行うことを特徴とするパターンの位置合わせ方法。
IPC (2件)：
G01B 11/00 ,  G06T 7/60
FI (2件)：
G01B 11/00 H ,  G06T 7/60 150 B
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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