シリコン鋳造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-184436
公開番号（公開出願番号）：特開2001-019591
特許番号：特許第3872233号
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】シリコン原料を鋳型内に投入する工程と、シリコン原料を溶解るつぼ内に投入する工程と、前記鋳型内のシリコン原料を、鋳型内で加熱溶融する工程と、前記溶解るつぼ内のシリコン原料を、溶解るつぼ内で加熱溶融する工程と、前記溶解るつぼ内で溶融されたシリコン融液を、前記溶解るつぼの底から出湯させて前記鋳型内に追加供給する工程と、を少なくとも有したことを特徴とするシリコン鋳造方法。

IPC (1件)：