特許
J-GLOBAL ID：201103016129961608
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-371311
公開番号（公開出願番号）：特開2003-173027
特許番号：特許第3826777号
出願日： 2001年12月05日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (A)酸解離性基含有ポリシロキサン並びに(B)放射線の照射により、トリフルオロメタンスルホン酸または下記式(I)で表される酸を発生する化合物(B1)と、放射線の照射により、下記式(II) で表される酸または下記式(III)で表される酸を発生する化合物(B2)とを必須成分とする感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
〔式(I)において、各Rf は相互に独立にフッ素原子またはトリフルオロメチル基を示し、Ra は水素原子、フッ素原子、炭素数1〜20の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数1〜20の直鎖状もしくは分岐状のフッ素化アルキル基を示す。〕
〔式(II)において、Rf はフッ素原子またはトリフルオロメチル基を示し、
Rf'は水素原子、フッ素原子、メチル基またはトリフルオロメチル基を示し、
Rb は水素原子、炭素数1〜20の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、炭素数3〜20の環状の1価の炭化水素基または炭素数3〜20の環状の1価のフッ素化炭化水素基を示し、該環状の1価の炭化水素基および該環状の1価のフッ素化炭化水素基は置換されていてもよい。
式(III)において、Rs は下記式(17)および式(19)〜(22)の群から選ばれる基を示す。
式(17)および式(19)〜(22)において、各R8 は相互に独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アセチル基、カルボキシル基、ニトロ基、シアノ基、1級アミノ基、2級アミノ基、炭素数1〜10の直鎖状もしくは分岐状のアルコキシル基、炭素数1〜10の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数1〜10の直鎖状もしくは分岐状のフッ素化アルキル基を示し、各R9 は相互に独立に水素原子、ハロゲン原子、1〜10の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、炭素数1〜10の直鎖状もしくは分岐状のフッ素化アルキル基を示し、mは0〜10の整数である。
式(19)において、nは1〜18の整数である。
式(20)において、pは0〜3の整数である。〕
IPC (4件)：
G03F 7/075 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G03F 7/075 521
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
