特許
J-GLOBAL ID：201103016370501324
感光性樹脂組成物
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
鐘尾 宏紀
, 野口 武男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362994
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174990
特許番号：特許第3615977号
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】アルカリ可溶性樹脂およびキノンジアジド基を含む感光剤を含有する感光性樹脂組成物において、感光性樹脂組成物中に更に溶解抑止剤が含有され、前記溶解抑止剤は、ポリスチレン換算重量平均分子量が7,000〜20,000で、2.38重量%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液に対する溶解速度が1500Å/分以下であり、ポリアクリル酸エステル、ポリメタクリル酸エステル、アルキルまたは(置換)アリールアクリレート、アルキルまたは(置換)アリールメタクリレート、スチレン、アミノスチレン、N-ビニルイミダゾール、N-ビニルカルバゾール、2-ビニルキノリン、ビニルシクロヘキサン、ビニルナフタレン、ビニルピリジン、N-ビニルピロリドン、N-ビニルフタルイミドから選ばれる二種以上のモノマーから得られる共重合体からなる群から選ばれた少なくとも一種の重合体(但し、有機酸基、ヒドロキシル基、窒素原子上に少なくとも一つの水素原子が結合したスルホンアミド基または-CONHSO2-で示される活性イミノ基を有する重合体を除く)であり、感光性樹脂組成物中の樹脂成分100重量部に対して、前記溶解抑止剤を0.5〜5重量部含有するとともに、感光性樹脂組成物中の樹脂成分100重量部に対する前記キノンジアジド基を含む感光剤の量が1〜18重量部であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/022
, G03F 7/023
, G03F 7/027
, H01L 21/027
G03F 7/022
, G03F 7/023 511
, G03F 7/027 502
, H01L 21/30 502 R
