特許

J-GLOBAL ID：201103016412468810

ゲートバルブ

発明者： 伊藤 一男
出願人/特許権者： 株式会社ブイテックス
代理人 (1件)： 澤木 誠一 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373921
公開番号（公開出願番号）：特開2001-187972
特許番号：特許第3388435号
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 プロセスチャンバーの壁に形成した開口を開閉するため上記壁に離接される弁板と、上記開口を塞ぐ位置と開く位置に移動自在な塞ぎ体と、上記塞ぎ体をその開位置で収容するため上記壁に形成した収納溝と、上記弁板及び塞ぎ体を移動するための駆動手段とより成り、上記弁板が上記開口を閉じる位置では上記塞ぎ体が上記開口を塞いでおり、上記弁板が上記開口を開く位置では上記塞ぎ体が上記収納溝に収納されて上記開口を開いていることを特徴とするゲートバルブ。

IPC (3件)：

F16K 3/314 ,  F16K 3/316 ,  F16K 51/02

FI (3件)：

F16K 3/314 A ,  F16K 3/316 ,  F16K 51/02 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ゲートバルブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-086719   出願人：エヌオーケー株式会社
• 真空用ゲートバルブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-084958   出願人：株式会社日本製鋼所
• 特公平6-001106