特許
J-GLOBAL ID：201103017293152636
レーザビーム描画装置における音響光学素子定常化システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 富彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-368332
公開番号（公開出願番号）：特開2002-169118
特許番号：特許第4585684号
出願日： 2000年12月04日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 超音波が印加されることにより駆動し、入射するレーザビームを回折する音響光学素子を有し、副走査方向に移動する描画面上で前記音響光学素子から射出される回折光を主走査方向に走査させることにより、前記描画面上に載置された被描画体に所定の描画を行うレーザビーム描画装置において、
前記レーザビームを照射する光源と、
前記光源と前記音響光学素子との間に設けられ、前記レーザビームを調光する調光手段と、
描画動作時には前記レーザビームを透光し、非描画動作時には前記レーザビームを遮光するよう前記調光手段を駆動制御するとともに、描画動作中であるか否かを問わず、常に描画動作時の描画データによって生成される変調信号と略同一のデューティ比を備える変調信号によって前記音響光学素子を駆動制御する制御手段と、
を有することを特徴とするレーザビーム描画装置における音響光学素子定常化システム。
IPC (4件)：
G02B 26/10 ( 200 6.01)
, G02F 1/11 ( 200 6.01)
, B41J 2/44 ( 200 6.01)
, H04N 1/113 ( 200 6.01)
G02B 26/10 Z
, G02F 1/11 502
, B41J 3/00 D
, H04N 1/04 104 A
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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