特許

J-GLOBAL ID：201103017432502655

感光性樹脂組成物

発明者： 重光 靖郎 ,  田島 右副 ,  武内 一夫 ,  竹内 江津
出願人/特許権者： 独立行政法人理化学研究所 ,  住友ベークライト株式会社
代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-147097
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338668
特許番号：特許第4258690号
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 一般式[1]で表される構造単位を有するcis-ジエン置換ポリアミック酸又はポリイミドと酸素増感剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 (ただし、式中、R1、R2、R3及びR4の少なくとも1つはフラン、チオフェン又はピロール構造であるcis-ジエン構造を有する1価の有機基であり、残余は、それぞれ独立に水素、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数1〜20のアルコキシル基であり、X1及びX2はそれぞれ独立に酸素、硫黄又は炭素数1〜4の置換基を有していてもよいアルキレン基若しくはアルキレンオキシ基であり、Ar1及びAr2はそれぞれ独立に2価の芳香族基であり、l1、l2、m1及びm2はそれぞれ独立に0又は1である。ただし、l1が1のときはm1も1であり、l2が1のときはm2も1である。)

IPC (4件)：

G03F 7/038 ( 200 6.01) ,  G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  C08G 73/10 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 503 Z ,  C08G 73/10 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-243450   出願人：理化学研究所
• 特開昭55-045748
  
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-015176   出願人：理化学研究所, 住友ベークライト株式会社
• 特許第4033426号
  

審査官引用 (4件)

• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-243450   出願人：理化学研究所
• 特開昭55-045748
  
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-015176   出願人：理化学研究所, 住友ベークライト株式会社
• 特許第4033426号