ペリクル及びそのケース

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：机昌彦 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-163023
公開番号（公開出願番号）：特開2000-352812
特許番号：特許第3434731号
出願日： 1999年06月09日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レチクルのパターンが形成されたパターン面に前記パターンを囲うように配置されたペリクル枠の一端面が接合されており、該ペリクル枠の他端面にはペリクル膜が接合されているペリクルであって、前記ペリクル枠の内側面には、ペリクル内の気体中に存在し、複数種類で反応することにより前記パターン面上での析出物形成の要因となる析出要因物質としてのアンモニアまたはアンモニウムイオンを該アンモニアまたはアンモニウムイオンと反応することで捕捉する捕捉物質としてのリン酸が付与されていることを特徴とするペリクル。

IPC (2件)：