特許
J-GLOBAL ID：201103017893039388
マスフローコントローラ
出願人/特許権者：
株式会社堀場エステック
株式会社堀場エステック について
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-046300
公開番号（公開出願番号）：特開2001-236125
特許番号：特許第4578607号
出願日： 2000年02月23日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 流体が流れる流路に対して設けられた流量センサ部と、同じく前記流路に対して設けられ、前記流量センサ部の下流側または上流側に設けられた制御バルブと、前記流量センサ部からの流量測定信号と流量設定信号とが入力される誤差増幅器と、この誤差増幅器からの信号が入力されるPID回路とを有し、前記PID回路から出力される制御信号に基づいて前記制御バルブの開度を制御するマスフローコントローラであって、前記流量設定信号が入力され、かつ前記PID回路に補正信号を出力する比較回路と、この比較回路に閾値となる信号を出力する基準電圧発生回路とを備え、前記制御バルブが閉状態にある場合に、前記比較回路において、流量設定信号のレベルが前記閾値を超えると補正信号が出力され、PID回路からの制御信号が、制御バルブの開き出し電圧まで瞬時に立ち上がり、その後、前記PID回路から出力される制御信号に基づいて閉状態にある前記制御バルブの開度の制御が開始されるように構成してあることを特徴とするマスフローコントローラ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (4件)
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流量調節弁の制御装置
公報種別：公開公報 出願番号：特願平8-309354 出願人：石川島播磨重工業株式会社 -
マスフローコントローラ
公報種別：公開公報 出願番号：特願平4-282470 出願人：株式会社エステック -
流量制御方法
公報種別：公開公報 出願番号：特願平5-339737 出願人：日立金属株式会社
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