特許
J-GLOBAL ID：201103017993596101
SQUID顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096850
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171537
特許番号：特許第4201913号
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 磁気を検出するSQUIDと、
前記SQUIDを固定する弾性材料からなるデバイス実装板と、
前記デバイス実装板を所定の角度で保持するホルダーと、
前記デバイス実装板を介して前記SQUIDを冷却する第1の冷却装置と、
前記SQUIDと試料を相対的に移動させる走査ステージと、
から構成されるSQUID顕微鏡。
IPC (2件)：
G01R 33/035 ( 200 6.01)
, G01R 33/12 ( 200 6.01)
G01R 33/035 ZAA
, G01R 33/12 Z
