特許
J-GLOBAL ID:201103018290987059
感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
田中 光雄
, 山田 卓二
, 森住 憲一
, 柴田 康夫
, 梶田 真理奈
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-078696
公開番号(公開出願番号):特開2011-209594
出願日: 2010年03月30日
公開日(公表日): 2011年10月20日
要約:
【課題】高感度でパターンを得られる感光性樹脂組成物及びそれを用いた表示装置等を提供すること。【解決手段】 樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)、溶剤(D)及び式(1)で表される化合物を含み、樹脂(A)が、炭素数2〜4の環状エーテルを有する単量体と、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種とを重合してなる共重合体である感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)、溶剤(D)及び式(1)で表される化合物を含み、樹脂(A)が、炭素数2〜4の環状エーテルを有する単量体と、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種とを重合してなる共重合体である感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/032
, H01L 21/027
, C08F 220/32
FI (3件):
G03F7/032 501
, H01L21/30 502R
, C08F220/32
Fターム (37件):
2H090HB07X
, 2H090HC05
, 2H090HC10
, 2H090HD05
, 2H125AC36
, 2H125AD02
, 2H125AD06
, 2H125AD15
, 2H125AD24
, 2H125AE13P
, 2H125AM66P
, 2H125AM86P
, 2H125AN11P
, 2H125AN22P
, 2H125AN29P
, 2H125AN36P
, 2H125AN39P
, 2H125AN41P
, 2H125AN53P
, 2H125AN58P
, 2H125AN59P
, 2H125AN72P
, 2H125AN89P
, 2H125BA02P
, 2H125BA11P
, 2H125BA33P
, 2H125CA22
, 2H125CB05
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 4J100AL08P
, 4J100AL67Q
, 4J100BA02Q
, 4J100BA03Q
, 4J100BC54P
, 4J100CA04
, 4J100JA37
引用特許:
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