特許

J-GLOBAL ID：201103018510596595

ガス流量検定ユニット

発明者： 小澤 幸生 ,  伊藤 稔 ,  土居 広樹 ,  中田 明子
出願人/特許権者： シーケーディ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人コスモス特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-292807
公開番号（公開出願番号）：特開2011-064707
出願日： 2010年12月28日
公開日（公表日）： 2011年03月31日
要約：

【課題】流量検定に対する信頼性を向上させることができるガス流量検定ユニットを提供すること。【解決手段】流量制御機器10に接続され、ガスを入力する第1遮断弁12と、ガスを出力する第2遮断弁13と、第1遮断弁12と第2遮断弁13とを連通させる連通部材18と、第1遮断弁12と第2遮断弁13との間に供給されるガスの圧力を検出する圧力センサ14と、第1遮断弁12と第2遮断弁13との間に供給されるガスの温度を検出する温度検出器15と、圧力センサ14が検出する圧力検出結果と、温度検出器15が検出する温度検出結果を用いて流量制御機器10を流れるガスの流量を検定する制御手段16と、を有し、第1遮断弁12の弁座22から第2遮断弁13の弁座28までの体積Vkを流量制御機器10の出口から第1遮断弁12の弁座22までの体積Ve以下にしたガス流量検定ユニットとする。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

流量制御機器の下流側に配設されるガス流量検定ユニットにおいて、 前記流量制御機器に接続され、ガスを入力する第1遮断弁と、 前記ガスを出力する第2遮断弁と、 前記第1遮断弁と前記第2遮断弁とを連通させる連通部材と、 前記第1遮断弁と前記第2遮断弁との間に供給される前記ガスの圧力を検出する圧力検出器と、 前記第1遮断弁と前記第2遮断弁との間に供給される前記ガスの温度を検出する温度検出器と、 前記圧力検出器が検出する圧力検出結果と、前記温度検出器が検出する温度検出結果を用いて前記流量制御機器を流れるガスの流量を検定する制御手段と、を有し、 前記第1遮断弁から前記第2遮断弁までの体積が、前記流量制御機器の出口から前記第1遮断弁までの体積以下であることを特徴とするガス流量検定ユニット。

IPC (1件)：

G01F 25/00

FI (1件)：

G01F25/00 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特許第3022931号
  
• 流量制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-287870   出願人：日本アエラ株式会社
• 微少容積測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-314778   出願人：日本電気三栄株式会社