特許
J-GLOBAL ID:201103018866357307
半導体装置並びに半導体集積装置及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
北野 好人
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-296467
公開番号(公開出願番号):特開2001-118982
特許番号:特許第4321926号
出願日: 1999年10月19日
公開日(公表日): 2001年04月27日
請求項(抜粋):
【請求項1】柱状の支持基板と、
前記支持基板に沿って巻き付けて接着され、表面に複数の電極が形成された半導体チップと、
を有することを特徴とする半導体装置。
IPC (3件):
H01L 23/12 ( 200 6.01)
, H01L 25/04 ( 200 6.01)
, H01L 25/18 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 23/12 Z
, H01L 25/04 Z
引用特許:
審査官引用 (5件)
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立体集積回路装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-066975
出願人:エスエムシー株式会社
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特開平1-244625
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特開平3-185900
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半導体ウェハの成形加工方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-123081
出願人:シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト, シーメンスソーラーゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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半導体素子および半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-030815
出願人:株式会社東芝
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