フレキシブル薄膜コンデンサおよびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-364794
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357631
特許番号：特許第3401220号
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】有機高分子または金属箔からなる基板と、前記基板上に形成された無機高誘電体膜と第1および第2の金属電極膜とを含み、前記無機高誘電体膜が前記第1および第2の金属電極膜の間に配置されたフレキシブル薄膜コンデンサであって、前記無機高誘電体膜と前記第1および第2の金属電極膜とが、前記基板上の金属酸化物接着膜と接触して形成され、前記金属酸化物接着膜により前記基板と一体化していることを特徴とするフレキシブル薄膜コンデンサ。

IPC (2件)：