特許
J-GLOBAL ID：201103019951407476
ダイシングテープ及びダイシング方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
森田 憲一
, 山口 健次郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-225240
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124169
特許番号：特許第4510954号
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基材シートと、その片側表面上に設けた粘着剤層とを含むダイシングテープであって、
前記の基材シートが、前記粘着剤層と接触する上部層と、その上部層の下に設けた中間層と、その中間層の下に設けた下部層とからなり、弾性率と層厚との積によって表す抗伸張性に関して、上部層の抗伸張性(A)と、中間層の抗伸張性(B)と、下部層の抗伸張性(C)とが、
B<A≦C
の関係を満足すること、
前記の上部層の抗伸張性(A)と、前記の中間層の抗伸張性(B)と、前記の下部層の抗伸張性(C)とが、更に
0.4≦A/C≦1
B/C≦0.5
の関係を満足すること、
前記ダイシングテープの全体の厚さが、50μm〜250μmであること、及び前記中間層の厚さが、10μm以上であることを特徴とする、前記のダイシングテープ。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 21/78 M
, H01L 21/78 Q
