マイクロマシンセンサおよび該センサの製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-227746
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065665
特許番号：特許第3447625号
出願日： 1999年08月11日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】マイクロマシンセンサの製造方法において、a)半導体基板(2)の上の基板表面領域に犠牲層(3)を形成するステップと、b)半導体材料をエピタキシャル成長させて、該犠牲層(3)の領域の上に広がる平坦な層(5)を形成し、該平坦な層(5)を前記犠牲層(3)の領域では多結晶で成長させるステップと、c)該平坦な層(5)を滑らかにするステップと、d)開口部(7)をエッチングにより形成し、該開口部(7)を適切な材料で充填するステップと、e)前記平坦な層(5)の上に半導体電子回路(11)を取り付けるステップと、f)該開口部(7)内の充填材料と前記犠牲層(3)を除去し、前記半導体基板(2)の背面をエッチングしてセンサ開口部(8)を形成するステップ、を有することを特徴とする、マイクロマシンセンサの製造方法。

IPC (4件)：

G01L 9/12 , B81B 3/00 , B81C 1/00 , H01L 41/09

FI (5件)：

G01L 9/12 , B81B 3/00 , B81C 1/00 , H01L 41/08 C , H01L 41/08 U

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-143628
特開昭60-138434
マイクロメカニックセンサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-121315 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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