特許

J-GLOBAL ID：201103020546123949

漏洩検知補助装置

発明者： 松本 善和 ,  中島 豊昭 ,  中邨 大輔 ,  前田 章弘 ,  瀬戸 規正
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (1件)： 特許業務法人青莪
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-076523
公開番号（公開出願番号）：特開2011-209082
出願日： 2010年03月30日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：

【課題】 特に大型の真空処理装置に発生した微小なリークを確実に検出きるようにする。【解決手段】 本発明では、例えば、漏洩検知対象物として、内部を真空引きする真空ポンプ2、5が付設されたチャンバを有する真空処理装置の漏洩検知を実施する際に、このチャンバ11と、ヘリウムガスを検知する質量分析管61と真空ポンプ63とを有するリークディテクタ6との間に介設される漏洩検知補助装置8を介設する。漏洩検知補助装置8は、チャンバに設けたテストポート13に第1の接続ポート82aと、質量分析管のターボ分子ポンプに通じる配管が接続可能な第2の接続ポート82bとを有する本体81を備え、この本体に、第1及び第2の両接続ポート間を連通する接続管83と、チャンバから第1の接続ポートを経てこの接続管内に引き込まれたヘリウムを第2の接続ポートへと移送し得るターボ分子ポンプ84とを備える。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

漏洩検知対象物と、ヘリウムガスを検知する質量分析管と真空ポンプとを有するリークディテクタとの間に介設される漏洩検知補助装置であって、 漏洩検知対象物に設けたポートに接続される第1の接続ポートと、リークディテクタに接続される第2の接続ポートとを有する本体を備え、 この本体に、第1及び第2の両接続ポート間を連通する接続管と、漏洩検知対象物から第1の接続ポートを経てこの接続管内に引き込まれたヘリウムを第2の接続ポートへと移送し得る移送手段と、を備えたことを特徴とする漏洩検知補助装置。

IPC (1件)：

G01M 3/20

FI (2件)：

G01M3/20 E ,  G01M3/20 B

Fターム (5件)：

2G067AA22 ,  2G067BB04 ,  2G067BB30 ,  2G067CC13 ,  2G067DD18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 漏洩検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-007262   出願人：日本真空技術株式会社
• リークテスト装置と方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-339067   出願人：日本真空技術株式会社