特許

J-GLOBAL ID：201103020972415108

共焦点顕微鏡

発明者： 森園 幸太郎 ,  岡本 陽一
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136479
公開番号（公開出願番号）：特開2000-330026
特許番号：特許第4536845号
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 対象物に光を照射する光源と前記対象物からの反射光又は透過光を対物レンズを含む光学系を通して受光する受光素子とを含む共焦点光学系と、 前記対象物を光で走査するための走査機構と、 前記対物レンズの焦点と前記対象物との光軸方向での相対距離を変化させる変位機構と、 前記走査機構による走査範囲内の各画素について、前記相対距離を変化させて前記受光素子の受光量が最大になるときの前記相対距離を前記対象物の表面の高さデータとして測定する処理装置と、 前記相対距離を変化させる範囲と当該範囲内で前記相対距離を変化させるピッチとを含む測定パラメータを設定する設定手段と、を有し、 前記相対距離を変化させる範囲と、当該範囲内で前記相対距離を変化させるピッチと、 前記走査機構による走査周期とに基づいて、前記処理装置が前記走査機構による走査範囲内の全画素について前記高さデータを測定するまでに要する測定時間を概算して出力する測定時間出力手段を備えることを特徴とする共焦点顕微鏡。

IPC (1件)：

G02B 21/00 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 走査型顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-314856   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 走査顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-180647   出願人：株式会社キーエンス
• 資料提示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-168373   出願人：株式会社エルモ社