特許
J-GLOBAL ID:201103021085832590

切削装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 佐々木 功 ,  川村 恭子
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-319781
公開番号(公開出願番号):特開2001-144034
特許番号:特許第4387010号
出願日: 1999年11月10日
公開日(公表日): 2001年05月25日
請求項(抜粋):
【請求項1】 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削手段とから少なくとも構成される切削装置であって、 該切削手段には、該切削手段を構成する回転スピンドルに装着される精密ブレードにまたは該精密ブレードが収容されるケースに施された該精密ブレードの個性を示すバーコードからなる個性表示を読み取る読み取り手段と、該個性表示に示された個性情報を記憶する記憶手段とが含まれ、 該読み取り手段はバーコードリーダであり、 該記憶手段に記憶された個性情報を表示する表示手段が含まれており、 該個性情報には、該精密ブレードの切り刃部の厚さ及び突出量に関する情報が含まれ、 該精密ブレードを切削装置の該回転スピンドルに装着する際に、該読み取り手段によって該精密ブレードの個性表示を読み取り、該個性表示に示された個性情報を該記憶手段に記憶させ、該記憶手段に記憶された個性情報に基づいて、少なくとも該精密ブレードの被加工物に対する切り込み深さ、該被加工物に形成される溝幅、該精密ブレードの寿命が管理される切削装置。
IPC (1件):
H01L 21/301 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/78 F
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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