特許
J-GLOBAL ID：201103021982889856
極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法及びターゲット供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人ウィルフォート国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-013014
公開番号（公開出願番号）：特開2011-216860
出願日： 2011年01月25日
公開日（公表日）： 2011年10月27日
要約：
【課題】極端紫外光源装置の稼働率を向上させる。【解決手段】チャンバ装置は、レーザ光源110と共に用いられるチャンバ装置であって、前記レーザ光源110から出力されるレーザ光L1を内部に導入するための少なくとも1つの入射口が設けられたチャンバ100と、前記チャンバ100に設けられ、前記チャンバ100内の所定の位置にターゲット物質200を供給するターゲット供給部120と、所定条件が成立した場合に、前記タ-ゲット供給部120に対してリカバリ動作の実行を指示するリカバリ制御部301と、前記リカバリ制御部301からの指示に応じて前記リカバリ動作を実行するリカバリ部400と、前記ターゲット供給部120から前記チャンバ100内に供給されるターゲット物質200の位置を計測する位置計測部302と、を備えてもよい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザ光源と共に用いられるチャンバ装置であって、
前記レーザ光源から出力されるレーザ光を内部に導入するための少なくとも1つの入射口が設けられたチャンバと、
前記チャンバに設けられ、前記チャンバ内の所定の位置にターゲット物質を供給するターゲット供給部と、
所定条件が成立した場合に、前記タ-ゲット供給部に対してリカバリ動作の実行を指示するリカバリ制御部と、
前記リカバリ制御部からの指示に応じて前記リカバリ動作を実行するリカバリ部と、
前記ターゲット供給部から前記チャンバ内に供給されるターゲット物質の位置を計測する位置計測部と、
を備える、チャンバ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 531S
, H05G1/00 K
4C092AA02
, 4C092AA05
, 4C092AA13
, 4C092AC08
, 4C092BD01
, 4C092CC15
, 5F046GC03
