機能部品の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：平田忠雄 , 遠藤和光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055782
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252420
特許番号：特許第4045685号
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1の機能部品と第2の機能部品を接合することにより、新たな機能を有する機能部品を製造する方法において、第1の基板上に前記第1の機能部品を形成し、第2の基板上に前記第2の機能部品を形成し、前記第1の機能部品の接合面、及び前記第2の機能部品の接合面を清浄化し、前記第1の機能部品の接合面と前記第2の機能部品の接合面とを直接接触させて接合し、前記第2の基板を前記第1の基板から引き離すことにより、前記第2の機能部品を前記第2の基板から剥離して前記第1の基板側に転写することを特徴とする機能部品の製造方法。

IPC (1件)：