載置装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：萩原康司 , 金本哲男 , 亀谷美明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-243419
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068523
特許番号：特許第3665516号
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板を保持する保持部材を載置させる装置であって, 前記保持部材を特定位置で載置させる載置手段と, 前記載置手段を揺動可能に支持し,かつ前記載置手段を所定位置に保持するように付勢する揺動手段とを備え, 前記揺動手段は,前記載置手段を鉛直上向きに付勢する上向き付勢機構と,前記載置手段を水平方向に付勢する横向き付勢機構とを備えていることを特徴とする,載置装置。

IPC (2件)：