特許
J-GLOBAL ID：201103023211001414

圧電素子およびその製造方法、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、並びに、液体噴射装置

発明者：
中山 雅夫

中山 雅夫 について

, 
羽廣 英樹

羽廣 英樹 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  永田 美佐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-278267
公開番号（公開出願番号）：特開2011-121179
出願日： 2009年12月08日
公開日（公表日）： 2011年06月23日
要約：
【課題】応力を緩和することができる信頼性の高い圧電素子を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電素子100は、基板10と、基板10の上方に形成された第1電極20と、第1電極20の上方に形成された第1圧電体30と、第1圧電体30の側方に形成され、第1圧電体30の密度より小さい密度を有する低密度領域40と、第1圧電体30および低密度領域40を覆って形成された第2圧電体50と、第2圧電体50の上方に形成された第2電極60と、を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板の上方に形成された第1電極と、 前記第1電極の上方に形成された第1圧電体と、 前記第1圧電体の側方に形成され、前記第1圧電体の密度より小さい密度を有する低密度領域と、 前記第1圧電体および前記低密度領域を覆って形成された第2圧電体と、 前記第2圧電体の上方に形成された第2電極と、 を含む、圧電素子。
IPC (2件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (1件)：
B41J3/04 103A
Fターム (6件)：
2C057AF65 ,  2C057AG37 ,  2C057AG47 ,  2C057AG60 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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