特許
J-GLOBAL ID：200903097492235155
アクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-088887
公開番号（公開出願番号）：特開2007-266272
出願日： 2006年03月28日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：
【課題】圧電素子の変位による剥離及び破壊を防止して耐久性及び信頼性を向上したアクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】基板10上に変位可能に設けられた下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300を具備すると共に、前記下電極60の長手方向端部が前記圧電素子300の実質的な駆動部となる圧電体能動部320の長手方向端部を規定しており、且つ前記圧電体能動部320の長手方向端部を規定する前記下電極60長手方向の端部に当該下電極60とは別物質のイオンが注入された高抵抗部61を設ける。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板上に変位可能に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を具備すると共に、前記下電極の長手方向端部が前記圧電素子の実質的な駆動部となる圧電体能動部の長手方向端部を規定しており、且つ前記圧電体能動部の長手方向端部を規定する前記下電極の長手方向端部には、当該下電極とは別物質のイオンが注入された高抵抗部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ装置。
IPC (7件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, H01L 41/22
, H02N 2/00
H01L41/08 J
, B41J3/04 103A
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
, H02N2/00 B
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057BA03
, 2C057BA14
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (6件)
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