特許
J-GLOBAL ID：201103023721000315
新規なポリマー及びそれらを含有してなるフォトレジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐伯 憲生
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-283271
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298347
特許番号：特許第4421710号
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光活性成分及びエステル基の繰り返し単位を含むポリマーからなる樹脂バインダーを含むフォトレジスト組成物であって、
エステル基がカルボニル及びカルボキシル酸素原子を有し、
少なくとも2個が第二級、第三級又は第四級炭素原子である5個以上の炭素原子を有する任意に置換された非環状又は単環環式アルキル部を含み、
エステル基が第四級炭素原子に直接的に結合しており、
かつポリマーが次式に示す単位を1種類以上含む
フォトレジスト組成物。
上記式において、Yはそれぞれ独立して水素又はC1-6アルキルである。
IPC (6件)：
G03F 7/039 ( 200 6.01)
, C08L 33/08 ( 200 6.01)
, C08L 33/10 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, C07C 67/14 ( 200 6.01)
, C07C 69/54 ( 200 6.01)
G03F 7/039 601
, C08L 33/08
, C08L 33/10
, H01L 21/30 502 R
, C07C 67/14
, C07C 69/54 Z
, C07C 69/54 B
